先进封装技术
应用:在芯片倒装焊(Flip Chip)中作为焊料或热界面材料,实现芯片与基板的电气连接和热传导。
特点:低熔点(156.6℃)和高可靠性,适用于精密电子器件的低温封装。
航空航天与国防科技
1. 红外探测与成像
用途:在红外焦平面阵列(IRFPA)中作为芯片互连材料(如铟柱倒装焊),实现探测器芯片与读出电路的高密度连接。
场景:军用夜视仪、卫星遥感设备、热成像仪等。
2. 高温真空器件
应用:在航空航天用真空电子器件(如行波管、磁控管)中作为密封材料或电极镀膜,利用铟的低蒸气压和抗腐蚀特性。
溅射时间与沉积厚度
厚度监控:使用石英晶体微天平(QCM)实时监测薄膜沉积速率,结合靶材消耗速率(约 0.1~0.5 μm/min,与功率相关),控制溅射时间。
靶材利用率:避免过度溅射导致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 时需及时更换),通常平面靶材利用率约 30%~40%,旋转靶可提升至 60% 以上。
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