化合物半导体器件
场景:用于制造铟镓砷(InGaAs)、铟磷(InP)等化合物半导体芯片,广泛应用于 5G 通信基站、雷达、光纤通信等高频电子设备。
作用:提升器件的高频性能和可靠性,是 5G 毫米波芯片的核心材料之一。
平板显示(LCD/OLED/Micro-LED)
核心用途:制备透明导电薄膜(如氧化铟锡,ITO),作为显示面板的电极层和触控层。
LCD:用于玻璃基板的 ITO 薄膜,实现像素电极的导电功能。
OLED/Micro-LED:作为柔性基板(如 PI 膜)的透明电极,满足柔性显示对材料延展性的要求。
市场占比:全球超过 70% 的铟靶材用于显示面板生产,是 LCD/OLED 产业链的关键材料。
固态电池与储能技术
前沿应用:铟作为固态电解质的界面改性材料,改善电极与电解质的接触阻抗,提升固态电池的循环寿命和性。
安装前预处理
表面清洁:
用无水乙醇或丙酮擦拭靶材表面,去除油污、指纹及氧化层(可用无尘布蘸取溶剂沿同一方向擦拭,避免来回摩擦)。
若靶材表面有轻微氧化,可用细砂纸(800~1200 目)轻轻打磨,再用去离子水冲洗并干燥。
靶材检查:
确认靶材无裂纹、孔洞或脱落(铟质地软,运输或安装时易磕碰损伤)。
检查靶材与靶架的适配性(如尺寸公差、导电性接触点),确保安装牢固。