热压法:把铟粉末在高温和高压下压制成型,能够提高靶材的致密度和机械强度,同时有助于减少气孔和其他缺陷。
冷等静压法:利用液压介质在室温下对铟粉末施加均匀压力使其成型,可制造出高密度和均匀性的靶材,但需要后续的烧结处理来提高其机械性能。
光学领域:用于制造反射率与银镜一样高但不会褪色的镜,还可用于制造其他光学器件,如滤光片、光通信器件等。
其他领域:可用于制造低熔点合金,如 24%铟和 76%镓的合金在室温下为液态,此外,还可用于制造整流器、热敏电阻和光电导体等电气组件。
固态电池与储能技术
前沿应用:铟作为固态电解质的界面改性材料,改善电极与电解质的接触阻抗,提升固态电池的循环寿命和性。
溅射时间与沉积厚度
厚度监控:使用石英晶体微天平(QCM)实时监测薄膜沉积速率,结合靶材消耗速率(约 0.1~0.5 μm/min,与功率相关),控制溅射时间。
靶材利用率:避免过度溅射导致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 时需及时更换),通常平面靶材利用率约 30%~40%,旋转靶可提升至 60% 以上。