闭环之困：损耗与机遇并存 ITO靶材在溅射镀膜过程中利用率通常仅30%左右，大量含铟废料（废旧靶材、边角料、镀膜腔室废料）随之产生。过去，这些价值的废料往往被简单处理或堆积。建立从“废靶材→再生铟→新靶材”的闭环体系，成为破解资源约束的黄金路径。
铟靶材回收的主要任务是将铟从靶材中的其他金属和材料中分离出来，并将其提纯至高纯度。回收方法包括火法、湿法和电化学法。 火法冶金工艺使用高温熔炼和精炼来回收铟。这种方法适用于大规模回收，但存在一些缺点，如产生危险废物、高能耗，以及可能损失有价值的铟。 湿法冶金工艺利用化学浸出剂将铟从靶材中溶解出来。这种方法比火法更环保，适用于从成分复杂的靶材中回收铟。然而，这一过程可能较为复杂，需要使用危险化学品。 电化学过程通过电流将铟从靶材中溶解和回收。这种方法也比火法更环保，可以回收较高纯度的铟。但这一过程可能较为复杂，需要专门的设备和专业知识。
ITO靶粉回收虽具有较高价值，但实际操作中需注意以下几点： 1.防护。回收过程涉及强酸、有机溶剂等化学品，操作人员需穿戴防护装备，避免直接接触。工作场所应保持良好的通风条件，防止有害气体积聚。 2.环境保护。回收过程中产生的废水、废渣需妥善处理，避免对环境造成污染。酸性废液应中和后再排放，有机溶剂应尽量回收利用或进行无害化处理。 3.质量控制。回收得到的金属铟需经过严格检测，确保其纯度符合再次生产的要求。杂质含量过高会影响终产品的性能。 4.经济性分析。回收项目需综合考虑成本与收益，包括原材料收集、化学品消耗、能源使用及设备折旧等因素。企业可根据自身情况选择合适的回收规模和技术路线。
总体来看，ITO靶粉回收是一项技术成熟、效益显著的工作。通过合理的工艺设计和严格的管理，不仅可以节约资源、降低生产成本，还能减少对自然环境的压力。未来，随着技术的进步和环保意识的提升，这一领域有望得到更广泛的应用和发展。